【據(jù)歐盟清潔航空網(wǎng)站2022年4月25日報道】高性能慣性MEMS陀螺儀制造工藝項目（MUPIA）開發(fā)了基于硅晶圓的微機電系統(tǒng)（MEMS）陀螺儀的制造工藝。與上一代工藝相比，該種新工藝將使生產(chǎn)非常小和輕的慣性測量單元（IMU）成為可能，可顯著降低重量（0.5千克至2千克）和功耗（1W至5W），從而為飛機節(jié)省能源。

MUPIA項目優(yōu)化了制造過程的每個步驟，以達到所需的性能規(guī)格，包括開發(fā)和優(yōu)化高分辨率特征的制造工藝、用于測量這些特征的圖像半自主分析以及獲得高性能所需真空質(zhì)量的封裝解決方案。

針對真空質(zhì)量挑戰(zhàn)，項目對兩種傳感器的變體進行了試驗——MOD（MUPIA 開放式設(shè)計）和 COD（MUPIA 封閉式設(shè)計）。對于封裝級真空密封的 MOD，主要的挑戰(zhàn)之一是如何處理MEMS制造后的設(shè)備，因為任何留在表面的灰塵或顆粒都會使傳感器失效。這一問題通過涂覆一層保護膜得以成功解決，該保護膜可以通過紫外線輻射和加熱去除，在設(shè)備上不留任何殘留物。對于COD，通過在晶圓鍵合下在晶圓級提供真空，能夠允許一個晶圓上的200個單元同時獲得相同的高質(zhì)量真空。

成本效率也是MUPIA的關(guān)注點，項目成功展示了該傳感器元件及其封裝在可持續(xù)價值鏈中的成本效益制造工藝。MUPIA還揭示了電力機翼系統(tǒng)領(lǐng)域傳感器的創(chuàng)新，改進的傳感器和執(zhí)行器預(yù)計將使用更廣泛的新技術(shù)。創(chuàng)新的機翼系統(tǒng)和更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測將降低維護成本并提高安全性，同時有助于降低油耗。

該項目由挪威工業(yè)技術(shù)研究所（SINTEF AS）和微軟公司（Micross Ltd）聯(lián)合實施，總預(yù)算133萬歐元，向歐盟申請的經(jīng)費為124萬歐元。heavy fuel engine